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真空泵

真空泵是一种从密封的体积中除去气体分子以留下部分真空的装置。真空泵与腔室和操作程序相结合,形成各种各样的真空系统。

有时在单个应用中会使用多个泵。部分真空,或粗糙真空,可以创建一个容积泵,将气体负荷从进口端口到出口(排气)端口。由于机械上的限制,这种泵只能实现较低的真空度